国家知识产权局信息显示，ASMIP私人控股有限公司申请一项名为“检测来自RF功率源的故障脉冲”的专利，公开号CN120594963A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，在一个实施例中，RF功率源向等离子体室提供脉冲RF信号，并且第一传感器定位在RF功率源和等离子体室之间。控制电路接收指示脉冲RF信号的参数的预期值的脉冲信息，该参数是脉冲频率、占空比、脉冲幅度或脉冲形状。控制电路还从第一传感器接收指示脉冲RF信号的参数的实际值的传感器信号。然后，控制电路将从脉冲信息导出的第一值与从一个或多个传感器信号导出的第二值进行比较。基于该比较，生成指示脉冲RF信号的参数的预期值与实际值之间的不一致的故障信号。
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